第307章 初光测试成功

第307章 初光测试成功 (第1/2页)

随着周局长的指令下达，会议室墙壁上的广播里，传来了下方实验室主控台的清晰回音。
　　
　　“各单位注意，初光测试正式启动。”贺建国手持对讲机，声音沉稳，但微微发紧。
　　
　　“光源系统启动，193纳米激光器预热完毕，输出功率稳定在60瓦。”
　　
　　“深紫外物镜系统自检通过，镜片温控正常，应力消除完毕。”
　　
　　“超精密双工作台就位，X、Y轴干涉仪校准完成，晶圆台与掩膜台同步锁定。”
　　
　　一系列生涩冷硬的工业指令在实验室内回荡。
　　
　　会议室玻璃幕墙前，周局长、林副部长、科技部高层，以及许晨和陈立峰，所有人都不自觉地屏住了呼吸。
　　
　　没有人交头接耳，目光死死盯着下方那台庞大的机械巨兽。
　　
　　“上片。”贺建国下达指令。
　　
　　机械臂精准地夹起一片涂满高分子光刻胶的十二英寸硅片，平稳地送入机器内部的工作台上。
　　
　　“对准系统锁定。”
　　
　　“开始曝光！”
　　
　　贺建国重重按下了操作台上的主控按钮。
　　
　　嗡——
　　
　　一声极具穿透力的低频震动声在实验室底座响起。
　　
　　天卓精密研发的双工作台开始以肉眼难以捕捉的极高加速度进行纳米级别的移动。
　　
　　与此同时，顶端的光源模块瞬间激发。
　　
　　193纳米的深紫外激光穿过极其复杂的光路调节系统，射入造价数亿的长天物镜组。庞大的光束被极度压缩，化作无形的刻刀，按照掩膜版上的电路图纸，精准地劈在下方高速移动的硅片上。
　　
　　整个曝光过程持续了不到两分钟。
　　
　　但在会议室里的众人看来，这两分钟却比一年还要漫长。周局长端着茶杯的手停在半空，一动不动；林副部长眉头紧锁，眼神紧绷。许晨面色平静，但身侧微微握紧的拳头还是暴露了他内心的波澜。
　　
　　“曝光结束。晶圆下片。”
　　
　　随着机器的提示音，机械臂将曝光完成的硅片取出，迅速送入一旁的显影液槽中进行定影处理。
　　
　　几分钟后，显影完毕的硅片被直接送到了实验室最核心的量测设备——高分辨扫描电子显微镜（SEM）的操作台上。
　　
　　贺建国亲自坐到了显微镜前，双手握住操作杆，将硅片表面的微观图像投射到实验室的中央大屏幕上，同时会议室的屏幕也同步接入了画面。
　　
　　画面不断放大。一万倍、五万倍、十万倍。
　　
　　原本平滑的硅片表面，此刻显现出了一道道极其密集、平行的沟壑。这些就是激光在光刻胶上雕刻出的电路蚀刻线。
　　
　　贺建国的手指在键盘上快速敲击，调出测量工具，将两条红色的基准线卡在了一条沟壑的两端。
　　
　　滴。
　　
　　屏幕右上角，一个绿色的测量数据跳了出来。
　　
　　【线宽：64.7nm】
　　
　　不仅达到了65纳米的标准，而且线条边缘极其锐利，没有丝毫的毛刺、晕染和断层，曝光均匀度堪称完美。
　　
　　整个实验室在这一瞬间陷入了死一般的寂静。
　　
　　紧接着，“轰”的一声，巨大的欢呼声几乎要掀翻实验室的屋顶。
　　
　　“成功了！”
　　
　　“65纳米！初光测试完美通过！”
　　
　　“干出来了！我们真特么干出来了！”
　　
　　几名年轻的工程师直接抱在一起嚎啕大哭，那些上了年纪的专家则是激动得浑身发抖，互相用力拍打着对方的后背。
　　
　　贺建国坐在操作台前，看着屏幕上的数字，眼中竟有些进沙子了，可是在这光刻机实验室里面哪有沙子啊！
　　
　　会议室里，同样是长出了一口气。
　　
　　周局长重重地把茶杯放在桌面上，连说了三个“好”字。林副部长和科技部的领导们互相击掌，脸上满是如释重负和狂喜。
　　
　　“小许！”周局长转过身，一把握住许晨的手，用力摇晃了两下，“你们天宇立下大功了！华国的半导体脊梁，今天算是挺直了一截啊！”
　　
　　“是大家共同努力的结果。”许晨脸上也露出了由衷的笑容。
　　
　　“走，咱们下去看看这群功臣。”周局长一挥手，带领众人通过专用电梯，经过严格的除尘程序后，走进了下方的主控室。
　　
　　看到高层领导和许晨走进来，实验室里的欢呼声稍微平息了一些，但众人眼中的狂热依然无法掩饰。
　　
　　贺建国大步走上前来，先是向周局长等人敬了个礼，随后径直走到许晨面前，紧紧握住他的手，语气激动而郑重：“许总，谢谢你。没有你们天宇真金白银砸出来的三大件，上微电子今天就是无米之炊。你不仅救了上微，也给咱们国家的半导体工业留了底气！”
　　
　　“贺总工言重了，这是国内所有科研人员共同的结晶。”许晨拍了拍贺建国的手背，随即切入正题，“贺总工，今天初光测试成功了，说明机械和光学协同没有问题。我想问个最实际的问题，这台机器，什么时候能真正量产？”
　　
　　

（本章未完，请点击下一页继续阅读）