第221章 长天光学突破

第221章 长天光学突破 (第2/2页)

“我替同事们谢谢许总！”王立国也不客气，搞科研的也是人，不仅要讲情怀，更要讲真金白银。
　　
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　　许晨离开长天光学的无尘车间。
　　
　　回到天宇集团总部的办公室，许晨脱下外套，喝了一口水。
　　
　　晨宇资本负责人陈立峰一同进入。
　　
　　当初去长春找王立国谈判，就是陈立峰带着法务部骨干一路跟进的。
　　
　　许晨坐下，目光转向陈立峰，“我之前交代你的另外两件事，目前进展怎么样了？”
　　
　　造光刻机，有三座大山。
　　
　　光学物镜系统、超精密双工作台、核心光源。
　　
　　许晨早就知道，国家在2016年其实已经出了不少成果，但很多都停留在实验室阶段，缺乏商业化量产的稳定性。
　　
　　光靠一个长天光学，造不出完整的光刻机。所以在投资长春光机所后，他立刻让陈立峰带着资金，去国内寻找另外两座大山的顶尖团队。
　　
　　“许总，按照您的指示，这两条线这大半年来我一直在亲自跟进。”
　　
　　陈立峰打开厚厚的公文包，拿出了两份绝密的文件递给许晨，“有了天宇的资金支持，他们的研发进度同样比国家原定的计划提前了一大截。”
　　
　　“首先是超精密双工作台。”陈立峰指着第一份文件，“我们找到了水木大学的朱建平教授团队。我们砸了6个亿进去，联合水木大学，成立了天卓精密控制技术有限公司。”
　　
　　陈立峰翻开报告：“许总，光刻机在曝光的时候，底下承载硅片的工作台需要飞速移动。这就好比，您需要在一列时速三百公里的高铁上，不仅要用针去穿线，而且每次穿线的误差不能超过一根头发丝的万分之一。”
　　
　　“更变态的是，为了提高效率，现在都是双工作台。一个台子在底下测量，另一个在上面曝光。等曝光完了，两个台子还要在极其狭小的空间里瞬间互换位置，期间不能有任何震动。”
　　
　　陈立峰指着报告上的数据，语气激动：“原本朱教授团队在实验室里只有初代样机。但这大半年来，天卓精密直接搞出了商业量产级别的工程机！在高速运动下，咱们晶圆台的定位精度已经压缩到了惊人的1.5纳米！双台交接的同步延迟几乎为零，彻底打破了阿斯麦（ASML）在这项专利上的垄断！”
　　
　　许晨满意地点了点头：“1.5纳米的精度，这比原计划快太多了。这台子稳，咱们的光刻机跑得就快。那激光那边呢？”
　　
　　陈立峰翻开第二份文件：“光源这边，我们盯上的是中科院光电所的郑勇博士团队。联合光电所以及国内几家半导体材料企业，我们控股组建了天虹激光科技股份有限公司。”
　　
　　“光刻机的光源，可以说是雕刻芯片的那把‘刀’。”陈立峰解释道，“我们不能用普通光，波长太大刻不细，必须用深紫外激光。这就好比在一粒米上刻字，必须用最细的手术刀。”
　　
　　“但这把手术刀其实是个闪光灯。它需要在一秒钟内连续闪烁几千次，而且每一次释放的能量必须绝对一样，不能多一丝一毫，否则刻出来的电路就会深浅不一、导致短路。”
　　
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